PTHC系列低溫液冷機

簡要描述：PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2024-11-09
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詳情介紹

PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。

設備控溫范圍：-80℃~200℃

Chuck盤面控制溫度：-60℃

溫度穩(wěn)定性：±0.1℃

制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)

定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機

參數(shù)看清楚

型號

設備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質溫度范圍
溫度精度
溫度穩(wěn)定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護

液冷制冷機

PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便、顯示直觀，可顯示、記錄溫度曲線和測試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質：SUS304，采用全密閉式結構設計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度、出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網接口
外置測溫傳感器端口、USB數(shù)據(jù)接口
試驗執(zhí)行時，可實時顯示圖形曲線，顯示內容；溫度設定實際值，執(zhí) 行程序周期，程序執(zhí)行中具有跳文件，保持功能。
風冷
設備運行狀態(tài)實時顯示，故障信息自動診斷，多項報警保護：電源故障，壓縮機過載、循環(huán)泵熱過載、制冷低壓報警、制冷高壓報警、超溫、溫度模塊故障、電加熱防干燒設計等保護功能。